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产品中心X轴纳米大行程平台
大行程纳米定位平台attocube采用了最高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。
◦ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于超高真空环境。
◦ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。
◦同时，其最大行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。attocube系列平台备有多种形式，尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。
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品名 |
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3D |
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ECSx3030 |
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ECSx3040 |
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| ECSx5050 | ECSx5050.pdf |
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