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产品中心面型精度保证反射镜
最优化的基板材质，厚度和镀膜条件，是高面型精度的反射镜。保证镀膜后的面型精度为λ/10。
把面精度保证反射镜（HTFM）安装在运动反射镜支架上，在不对反射镜产生应力的条件下用胶粘接固定，而且是带调整机构的高反射率反射镜。
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